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1.4 PVDF管：目前普遍認為PVDF管在商品有機配管中是性能穩定且對純水水質污染至小的管材，特別具有耐溫、耐H:O2、O.和耐寸 UV照射的優點。至大的不足是價格昂貴，為PVC管的5~10倍，因此目前僅用于純水精處理系統的管道中，現國內個別合資和獨資集成電路工廠中已有使用實例。
1.5不銹 鋼配管：不銹鋼配管材質通常選用0Cr18Ni9(304L)和00Cr7Ni14Mo2(316L)兩種牌號。它們之間的主要區別在于后者加入2%的鉬，從而在技術性能上比前者優越，特別對非氧化性酸和熱的有機酸、氯化物的耐腐蝕性比單純的鉻、鎳不銹鋼要好得多，抗孔蝕能力也會大大增強。無論選用哪種牌號的不銹鋼管，均應進行表面處理，以減少金屬溶出量和提高內表面光潔度。特別對焊縫處必要時應進行酸洗和鈍化處理。目前，在水質級別不太高的大型電子純水系統(如彩色顯像管生產線)大多采用304L不銹鋼管，而在醫類工業高純水系統均用316L不銹鋼管。
高純水被污染的原因，一是來自外界雜質的引入，二是系統內各種材料中所含污染物的溶出。因管道材質造成純水水質下降主要有以下兩點: (1) 管道材質中的不純物質溶解于高純水中致使水中陽、陰離子增加、電阻率下降以及TOC增大。(2) 因管道內壁不光滑及接頭、閥]等原因造成細菌滯留繁殖以及其他顆粒的聚積，致使水中微粒增加。為了減少上述不利因素的影響，應選用可萃性低、內壁光滑的管道并盡可能減少接頭及管件的凹凸不平。當然也要根據純水水質的級別進行選材，管道輸送系統，并注意材料的價格等，要統籌兼顧。根據材質的不同，高純水配管主要可分為有機系配管和不銹鋼配管兩大類。
管道安裝要求：不銹鋼管或有機配管的安裝要求，雖已有可遵照的金屬管道或PVC管施工及驗收規范，但由于管道內輸送的介質為高純水，因此在安裝中除應參照現有規范所通常規定的要求外，還應注意以下幾點：
選用不銹鋼管作純水管材：1.Ar弧焊接時，要求內焊縫表面光滑，無氧化現象，焊表縫及尺寸面缺陷容許值應符合規定要求，法蘭連接時，法蘭墊片宜用聚四氟乙烯；2.由于焊接時受熱，金相結構會發生變化，如處理不當在焊縫區域易產生銹蝕和鐵離子溶出，因此盡可能采用冷作工藝和減少焊縫量，以降低這種影響；3.不銹鋼托架安裝時，應防止不銹鋼與碳鋼接觸，管道與支架接觸處應墊入不銹鋼片、不含氯離子的塑料片或橡膠墊片；4.管道安裝完成后，應進行嚴密性試驗，以防接頭漏氣，影響水質。
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